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无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：不携入,在无尘室内不携入微粒子的方法有：1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理； 2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。 4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

净化工程在必定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流散布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所格外规划的房间，不管外在空气条件怎么改变，室内均具有保持原先所设定请求之洁净度、温湿度及压力等功能。空气净化器作业原理分类自动净化类无滤网型依据这些商品的自动灭菌原理可分为银离子技能、负离子技能、低温等离子技能、光触媒技能和净离子群离子技能。

无尘室的平面装备几种方法：1.外廊盘绕式：外廊能够有窗或无窗，以兼作观赏和放置一些设备用，而通常选用10万级和外窗有必要是双层密封窗。2.内廊盘绕式：无尘室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度等级通常需较高，乃至和无尘室同样的等级，此外无尘室设在外围时，需注意并无外窗设置。3.两头式：无尘室设在一边，另一边设准无尘和辅佐用居室。4.基地式：为了节省用地、缩短管线，能够将无尘区设在基地，上下左右被各种辅佐房和荫蔽管道的空间包围起来，削减与外气的热交换。