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相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。

实验室洁净度及压力梯度：主实验室：面积为150m2，净空高度为2.7m，规划温度（空调操控），规划湿度（能够思考添加抽湿机），洁净等级为三十万级—十万级，换气次数25次/小时，相对压力为+10Pa，规划送风量900m3/h，过滤器送风口的风量为1000 m3/h。缓冲室：面积为2.9m2，净空高度为2.7m，洁净等级为十万级，换气次数15次/小时，相对压力为+5Pa，规划送风量110m3/h，过滤器送风口的风量为500 m3/h。

  空气净化工程的作业原理是：

用风机将空气抽入机器，经过内置的滤网过滤空气，首要能够起到过滤粉尘、异味、有毒气体和杀灭有些细菌的作用。滤网又分：集尘滤网、去甲醛滤网、除臭滤网、HEPA滤网等。其间本钱比较高的即是HEPA滤网，它能起到分化有毒气体和灭菌作用，格外是按捺二次污染。这类商品的特点是风机功用以及滤网的质量决定净化作用，机器的放置以及室内规划影响净化是不是che底，室内净化作用不均衡，也难以che底，滤网更换费用较高。