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相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。

洁净室原理  单向流（层流）洁净室原理, 在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么改变，加进步风静压箱和过滤器的均压均流效果，全室断面上的流速对比均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。这也即是单向流洁净室的三大特点。这儿的流线单向平行，是指时均流线互相平行，方向单一。单向流洁净室的流态从雷诺数判别是紊流的，所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是***不一样的概念。因此，层流洁净室这个名词是不恰当的，国外某些规范和文章也指出这一点，例如英国规范BS-5295就曾把所谓层流洁净室界说为单向流洁净室，仅仅照料习惯在括号中注明为层流。前联邦德国规范VDl- 2083则用“非紊流的置换流”这一术语，并在注中指出，层流这一概念仅仅为了差异早于层流洁净室出现的紊（乱）流洁净室而在其时选用的习惯用语，“层流体系”的切当意思并不是分层活动，而是紊流的置换流，用本章说到的概念是紊流的渐变流。在流体力学中，这种活动状况也可称平行流或单向流。1977年我国在《空气洁净技术措施》中选用了“平行流”这个术语，在该术语后边同时也指出习惯上称“层流”。