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离开无尘车间应该注意的事项：如果该工作服在返回时再次穿用，则在脱下时应注意工作服外表面尽量少受污染，在横向长凳外脱去无尘车间***鞋，依次将脚放在较不洁净的区域(必要时可规定在脚上套塑料鞋套)。必须解开连衫裤或长衫，但不得将手从衣服中退出来，即直接将连衫裤或长衫由肩部脱下至腰部，然后再将手脱出来。若穿的是连衫裤，则要坐着脱yi，将一条腿脱出来，应使连衫裤的空袖和空裤脚不得触及地坪。

无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：排除/除去，在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是肯定理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。

无尘室的平面装备几种方法：1.外廊盘绕式：外廊能够有窗或无窗，以兼作观赏和放置一些设备用，而通常选用10万级和外窗有必要是双层密封窗。2.内廊盘绕式：无尘室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度等级通常需较高，乃至和无尘室同样的等级，此外无尘室设在外围时，需注意并无外窗设置。3.两头式：无尘室设在一边，另一边设准无尘和辅佐用居室。4.基地式：为了节省用地、缩短管线，能够将无尘区设在基地，上下左右被各种辅佐房和荫蔽管道的空间包围起来，削减与外气的热交换。