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近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、细菌成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。

无尘车间净化分为生物洁净室和非生物洁净室两种。生物洁净室空气净化系统必须连续运转;非生物洁净室使用前空气净化系统应提前4小时开启。检测尘埃粒子用尘埃粒子计数器，在环境卫生清洁后缓冲0.5～1小时之后进行，为避免人为造成的污染，静态测试时洁净室内两人。的生产过程中应对关键控制点进行动态监控。甲醛气体灭菌技术。甲醛熏蒸不仅对不易的霉菌有很好的灭菌效果，而且对环境中的细菌芽孢杀灭效果较好。甲醛熏蒸操作需要注意：首先保证室温达到35℃以上、相对湿度在60%以上;其次要保证甲醛用量达到房间体积10克/立方米的比例;另外，房间消毒时间不少于12小时;特别值得提醒的是在甲醛置换前用同比例的氨水进行中和，这样将zui大限度地减少对人体的危害以及对环境的污染。为了防止细菌对甲醛产生耐药性，可以用臭氧进行交替效果会更好。


在单向流洁净室内，洁净气流不是一股或几股，而是充溢全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释效果，而是靠洁净气流推出效果将室内脏空气沿全部断面排至室外，到达净化室内空气的意图。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被揉捏的弱空气射流”。洁净空气就比如一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推动，而使尘粒只能前（下）进，没有回来，把原有的含尘浓度高的空气揉捏出房间。在单向流洁净室以及单向流净化设备中，能够发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来，破坏了上述“活塞流”的状况，损害极大。关于和外界有开口相通的部分净化设备，例如洁净工作台，这种气流将引射外界污染气流，在规划上必定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使空间的壁面尽量挨近过滤器有用迭风截面。