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细菌和其他生物污染（霉菌，病毒、真菌、螨虫）在相对湿度超越60%的环境中能够活跃地繁衍。一些菌群在相对湿度超越30%时就能够添加。在相对湿度处于40%至60%的规模之间时，能够使细菌的影响以及呼吸道gan染降至低。相对湿度在40%至60%的规模相同也是人类感觉舒适的适度规模。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室外表的静电荷堆集——这是大家期望的成果。较低的湿度比较合适电荷的积江西并成为潜在的具有破坏性的跟电释放源。当相对湿度超越50%时，静电荷开始迅速消散，可是当相对湿度小于30%时，它们能够在绝缘体或许未接地的表成上持续存在很长一段时刻。

无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：不携入,在无尘室内不携入微粒子的方法有：1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理； 2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。 4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。