净化室设计***「同盛净化彩钢板」

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。净化车间无尘室测试范围,在空气净化工程验收完成后,为了能确保空气洁净度,净化车间无尘室要制订好维护保养计划。

对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速恢复，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。

根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况，确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程，其控制对象是空气中的尘粒、微生物；所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。面不同产品或用途的生物洁净室净化工程，对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程．其控制对象主要是空气中的尘粒；按集成电路的特征尺寸、集成度的不同，对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的，应披具体工厂的产品品种确定。

洁净室净化工程设计应确保安全生产和满足环境保护的要求。洁净室净化工程的稍置和各项设施的设计均必须符合消防、防火的要求，应按国家的有关标准、规范进行设计，由于洁净室净化工程内的平面和空间扣置持殊、走道曲折等特点，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置和材质选样时，加特别注意按规定选用符合要求的系统、没备和材质。在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑物流的安排．尽力做到短捷、流畅。